早期红外触摸屏出现于1992年，分辨率只有32×32。第一代红外触摸技术分辨率低、易受环境干扰而误动作，而且要求在一定的遮光环境中使用。由于这些局限性，致使红外触摸屏一度曾经淡出市场。

第二代红外触摸屏于1994年推出，分辨率达到64×64，改善了抗光干扰性能，可以适应大多数室内环境。第三代红外触摸屏1997年推出，分辨率达到320×240，可以在室外非阳光直射的环境中使用；第四代红外触摸屏的主要贡献是提高了分辨率，达到了800×600，于1998年推出。从红外触摸屏的发展历程来看，主要的进步是沿着提高分辨率和对强光干扰环境适应能力两个方面进行的，但基本上没有克服产品寿命短、器件特性参数容易漂移等问题。

近期推出的第五代红外触摸技术，不仅将分辨率提高到了1000×720，抗强光干扰性能提高到太阳直射环境亦可使用，更重要的是在产品寿命和免维护性能方面有了本质的飞跃。第五代红外触摸采用概率函数器件冗余分布的指导思想，工作环境下寿命大于7年。这就是说，当配套的显示器达到寿命终结的时候，触摸屏本身仍然是正常工作的。

第五代红外触摸屏在性能指标上的改善，足以将触摸屏的应用推向新的水平。原来有些场合不能使用的，现在可以使用了。例如，过去触摸屏在跟踪手指移动轨迹的时候会出现很多断笔，无法用于汉字识别。第五代触摸屏在跟踪手指移动轨迹的时候，精度、平滑度和跟踪速度都可以满足要求。用户的书写可以十分流畅地转换成图像轨迹，完全支持手写识别输入。

第六代触摸屏为适应windows7系统的要求，已支持多点触摸。